一、濺射靶材種類(lèi)和性能豐富，金屬靶材未來(lái)可期
根據觀(guān)研報告網(wǎng)發(fā)布的《中國濺射靶材行業(yè)現狀深度分析與投資前景預測報告（2024-2031年）》顯示，濺射靶材是一種用于物理氣相沉積（PVD）濺射工藝的材料，用于制備薄膜。在PVD過(guò)程中，濺射靶材被加熱并被離子轟擊，從而產(chǎn)生蒸汽，這些蒸汽沉積在基底上形成薄膜。
濺射靶材的選擇取決于所需薄膜的化學(xué)和物理性質(zhì)，以及所使用的PVD工藝。常見(jiàn)的濺射靶材包括金屬、合金、氧化物、氮化物、碳化物等。隨著(zhù)PVD技術(shù)的不斷發(fā)展，濺射靶材的種類(lèi)和性能也在不斷更新和改進(jìn)。
靶材類(lèi)型劃分
| 靶材類(lèi)型 | 材料示例 | 應用領(lǐng)域或特性 |
| 單質(zhì)金屬/非金屬靶材 | 銅靶、鋁靶、鉬靶、鈦靶、硅靶、石墨靶、硼靶 | 制備電極布線(xiàn)膜、阻擋膜、粘合膜、反射膜等 |
| 合金靶材 | 鈦鋁靶、鎳鉻靶、鉬靶 | 優(yōu)于單質(zhì)靶材的特異性質(zhì)，新型功能膜系設計開(kāi)發(fā) |
| 陶瓷化合物靶材 | ITO靶、IZO靶、AZO靶 | 高強度、高熔點(diǎn)、化學(xué)穩定性好、耐腐蝕，但易脆性破壞 |
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金屬靶材未來(lái)可期。金屬靶材以其出色的導電性、熱穩定性、沉積速度快、濺射率低的特點(diǎn)，成為薄膜沉積的不二選擇。金屬薄膜可以廣泛應用于半導體芯片、平面顯示器、太陽(yáng)能電池、信息存儲、工具改性等下游領(lǐng)域，其所用金屬類(lèi)別以及性能要求各有千秋。
金屬濺射靶材的應用領(lǐng)域以及性能要求
| 應用領(lǐng)域 | 金屬材料 | 主要用途 | 性能要求 |
| 半導體芯片 | 超高純度鋁、鈦、銅、鉬等 | 制備集成電路 | 技術(shù)要求最高、超高純度金屬、高精度尺寸、高集成度 |
| 平面顯示器 | 高純度鋁、銅、鉬等，ITO | 高清晰電視、筆記本電腦等 | 技術(shù)要求高、高純度材料、材料面積大、均勻性程度高 |
| 太陽(yáng)能電池 | 高純度鋁、銅、鉬、鉻等，ITO | 薄膜太陽(yáng)能電池 | 技術(shù)要求高、應用范圍大 |
| 信息存儲 | 鉻基、鈷基合金等 | 光驅、光盤(pán)等 | 高儲存密度、高傳輸速度 |
| 工具改性 | 純金屬鉻、鉻鋁合金等 | 工具、模具等表面強化 | 性能要求較高、使用壽命延長(cháng) |
| 電子器件 | 鎳鉻合金、鉻硅合金等 | 薄膜電阻、薄膜電容等 | 電子器件尺寸小、穩定性好、電阻溫度系數小 |
| 其他領(lǐng)域 | 純金屬鉻、鈦、鎳等 | 裝飾鍍膜、玻璃鍍膜等 | 技術(shù)要求一般，主要用于裝飾、節能等 |
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二、全球濺射靶材市場(chǎng)規模持續穩定增長(cháng)，中國行業(yè)地位不斷提高
作為各類(lèi)薄膜工業(yè)化制備的關(guān)鍵材料，隨著(zhù)半導體集成電路、平面顯示、太陽(yáng)能電池、信息存儲、低輻射玻璃等領(lǐng)域發(fā)展，全球濺射靶材市場(chǎng)規模持續穩定增長(cháng)。根據數據，2016-2023年全球濺射靶材市場(chǎng)規模由113億美元增長(cháng)至258億美元，年復合增長(cháng)率為12.52%。
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中國因本土化生產(chǎn)和應用的增加，在全球濺射靶材行業(yè)中的地位越來(lái)越重要。數據顯示，2018-2023年我國濺射靶材市場(chǎng)規模由243億元增長(cháng)至431億元，年復合增長(cháng)率達12.91%。
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三、美日企業(yè)占據全球濺射靶材主要市場(chǎng)，中國企業(yè)“乘風(fēng)而起”
美國和日本企業(yè)憑借專(zhuān)利先發(fā)優(yōu)勢占據了約80%的全球濺射靶材市場(chǎng)份額，其中日本日礦金屬、美國霍尼韋爾、日本東曹、美國普萊克斯分別占比30%、20%、20%、10%。
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隨著(zhù)國內顯示和半導體集成電路產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展，下游產(chǎn)業(yè)逐步向國內轉移，帶動(dòng)了國內濺射靶材行業(yè)的快速發(fā)展，我國濺射靶材產(chǎn)業(yè)逐漸從單一的規模增長(cháng)轉變?yōu)檫M(jìn)口替代的結構化增長(cháng)，以江豐電子、阿石創(chuàng )、有研新材、隆華科技、歐萊新材等為代表的一批具有較強市場(chǎng)競爭力的本土靶材企業(yè)成功進(jìn)入了國內外知名平臺顯示、半導體集成電路等下游企業(yè)的供應鏈環(huán)節，對境外廠(chǎng)商在國內的市場(chǎng)份額形成了進(jìn)口替代，并實(shí)現了部分出口，保障了國內重點(diǎn)行業(yè)上游關(guān)鍵原材料的自主可控及供應安全。
我國濺射靶材行業(yè)代表企業(yè)基本情況
| 企業(yè)名稱(chēng) | 簡(jiǎn)介 | 營(yíng)收情況 |
| 江豐電子 | 江豐電子成立于2005年，注冊地位于浙江省寧波市，2017年在深圳證券交易所上市。江豐電子主要從事超高純金屬濺射靶材以及半導體精密零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。產(chǎn)品主要應用于超大規模集成電路芯片、平板顯示器、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域。 | 江豐電子2023年實(shí)現營(yíng)業(yè)收入26.02億元，同比增長(cháng)11.89%；實(shí)現歸屬于母公司股東的凈利潤2.55億元，同比下降3.35%。其中，超高純靶材業(yè)務(wù)板塊營(yíng)業(yè)收入為16.73億元，同比增長(cháng)3.79%。 |
| 阿石創(chuàng ) | 阿石創(chuàng )成立于2002年,注冊地位于福建省福州市,2017年在深圳證券交易所上市。阿石創(chuàng )主要從事各種PVD鍍膜材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，主要產(chǎn)品包括濺射靶材和蒸鍍材料。產(chǎn)品主要應用于平板顯示、光學(xué)光通訊、節能玻璃等領(lǐng)域。 | 阿石創(chuàng )2023年實(shí)現營(yíng)業(yè)收入9.58億元，實(shí)現歸屬于母公司股東的凈利潤1227萬(wàn)元，其中，濺射靶材業(yè)務(wù)板塊營(yíng)業(yè)收入為5.21億元。 |
| 隆華科技 | 隆華科技成立于1995年，注冊地位于河南省洛陽(yáng)市，2011年在深圳證券交易所上市。隆華科技的業(yè)務(wù)類(lèi)型包括電子新材料、高分子復合材料和節能環(huán)保業(yè)務(wù)，產(chǎn)品主要應用于磁懸浮列車(chē)、航天、石油、化工、工業(yè)水處理、市政水處理、城市礦山資源處置、污水處理、礦物浮選等領(lǐng)域。 | 隆華科技2023年實(shí)現營(yíng)業(yè)收入24.67億元，實(shí)現歸屬于母公司股東的凈利潤1.27億元，其中，電子新材料業(yè)務(wù)板塊營(yíng)業(yè)收入為4.73億元。 |
| 有研新材 | 有研新材成立于1999年，是由北京有色金屬研究總院獨家發(fā)起，以募集方式設立的股份有限公司，于1999年3月成立并在上海證券交易所掛牌上市。有研新材主要從事稀土材料、微光電子用薄膜材料、生物醫用材料、稀有金屬及貴金屬、紅外光學(xué)及光電材料等新材料的研發(fā)與生產(chǎn)，是我國有色金屬新材料行業(yè)的骨干企業(yè)。 | 有研新材2023年實(shí)現營(yíng)業(yè)收入108.22億元，實(shí)現歸屬于母公司股東的凈利潤2.26億元。 |
| 歐萊新材 | 歐萊新材成立于2010年，注冊地位于廣東省韶關(guān)市，2024年在上海證券交易所科創(chuàng )板上市。歐萊新材主營(yíng)業(yè)務(wù)為高性能濺射靶材的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，主要產(chǎn)品包括多種尺寸和各類(lèi)形態(tài)的銅靶、鋁靶、鉬及鉬合金靶和ITO靶等，產(chǎn)品可廣泛應用于半導體顯示、觸控屏、建筑玻璃、裝飾鍍膜、集成電路封裝、新能源電池和太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域，是各類(lèi)薄膜工業(yè)化制備的關(guān)鍵材料。 | 歐萊新材2023年實(shí)現營(yíng)業(yè)收入4.76億元，實(shí)現歸屬于母公司股東的凈利潤0.49億元。 |
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現階段，國務(wù)院、國家發(fā)改委、工信部等政府部門(mén)通過(guò)各類(lèi)文件多層次、多角度、多領(lǐng)域對高性能濺射靶材行業(yè)予以全產(chǎn)業(yè)鏈、全方位的指導，為行業(yè)內企業(yè)的經(jīng)營(yíng)發(fā)展提供了有力的支持和良好的環(huán)境。我國濺射靶材企業(yè)“乘風(fēng)而起”，市場(chǎng)份額有望不斷提升。
我國濺射靶材行業(yè)相關(guān)政策
| 時(shí)間 | 政策 | 發(fā)布單位 | 相關(guān)內容 |
| 2023年 | 《電子信息制造業(yè)2023-2024年穩增長(cháng)行動(dòng)方案》 | 工信部、財政部 | 面向數字經(jīng)濟等發(fā)展需求，優(yōu)化集成電路、新型顯示等產(chǎn)業(yè)布局并提升高端供給水平，增強材料、設備及零配件等配套能力 |
| 2023年 | 《制造業(yè)可靠性提升實(shí)施意見(jiàn)》 | 工信部、教育部、科技部、市場(chǎng)監管總局 | 在基礎產(chǎn)品可靠性“筑基”工程中提高高頻高速印刷電路板及基材、新型顯示專(zhuān)用材料、新型顯示電子功能材料、先進(jìn)陶瓷基板材料、芯片先進(jìn)封裝材料等電子材料性能 |
| 2022年 | 《原材料工業(yè)“三品”實(shí)施方案》 | 工業(yè)和信息化部辦公廳、國資委辦公廳、市場(chǎng)監管總局辦公廳、知識產(chǎn)權局辦公室 | 支持鼓勵光刻膠、光電顯示材料、工業(yè)氣體、靶材等關(guān)鍵基礎材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，加強前沿新材料的質(zhì)量性能研發(fā)，完善新材料生產(chǎn)應用平臺，優(yōu)化上下游合作機制 |
| 2021年 | 《“十四五”原材料工業(yè)發(fā)展規劃》 | 工信部、科技部、自然資源部 | 提出推動(dòng)超高純金屬及靶材制備等新技術(shù)研發(fā)；突破關(guān)鍵材料中提出圍繞集成電路、信息通信和能源產(chǎn)業(yè)等重點(diǎn)應用領(lǐng)域，攻克包括靶材在內的一批關(guān)鍵材料 |
| 2021年 | 《中華人民共和國國民經(jīng)濟和社會(huì )發(fā)展第十四個(gè)五年規劃和2035年遠景目標綱要》 | 全國人民代表大會(huì ) | 聚焦新一代信息技術(shù)、生物技術(shù)、新能源、新材料、高端裝備、新能源汽車(chē)、綠色環(huán)保以及航空航天、海洋裝備等戰略性新興產(chǎn)業(yè)，加快關(guān)鍵核心技術(shù)創(chuàng )新應用，增強要素發(fā)展保障能力，培育壯大產(chǎn)業(yè)發(fā)展新動(dòng)能 |
| 2020年 | 《關(guān)于擴大戰略性新興產(chǎn)業(yè)投資培育壯大新增長(cháng)點(diǎn)增長(cháng)的指導意見(jiàn)》 | 國家發(fā)改委、科技部、工信部、財政部 | 加快新材料產(chǎn)業(yè)強弱項，實(shí)現光刻膠、高純靶材等關(guān)鍵材料領(lǐng)域的突破 |
| 2017年 | 《新材料關(guān)鍵技術(shù)產(chǎn)業(yè)化實(shí)施方案》 | 國家發(fā)改委 | 明確大尺寸高純鉬靶材材料技術(shù)指標：鉬靶材純度≥99.99%，板狀靶材長(cháng)度≥2000mm，管狀靶材外徑≥150mm，長(cháng)度>1500mm |
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