1、碳化硅襯底概述
根據觀(guān)研報告網(wǎng)發(fā)布的《中國碳化硅襯底行業(yè)發(fā)展趨勢分析與未來(lái)前景預測報告(2024-2031年)》顯示,SiC(碳化硅)是一種由硅(Si)和碳(C)構成的化合物半導體材料。SiC的優(yōu)點(diǎn)不僅在于其絕緣擊穿場(chǎng)強(Breakdown Field)是Si的10 倍,帶隙(Energy Gap)是Si的3倍,而且在器件制造時(shí)可以在較寬的范圍內實(shí)現必要的P型、N型控制,所以被認為是一種超越Si極限的用于制造功率器件的材料。
襯底是指沿特定的結晶方向將晶體切割、研磨、拋光,得到具有特定晶面和適當電學(xué)、光學(xué)和機械特性,用于生長(cháng)外延層的潔凈單晶圓薄片。碳化硅襯底是新近發(fā)展的寬禁帶半導體的核心材料,以其制作的器件具有耐高溫、耐高壓、高頻、大功率、抗輻射等特點(diǎn),具有開(kāi)關(guān)速度快、效率高的優(yōu)勢,可大幅降低產(chǎn)品功耗、提高能量轉換效率并減小產(chǎn)品體積。按照電學(xué)性能的不同,碳化硅襯底可分為半絕緣型碳化硅襯底和導電型碳化硅襯底兩類(lèi),這兩類(lèi)襯底經(jīng)外延生長(cháng)后分明用于制造功率器件、射頻器件等分立器件。
碳化硅襯底的種類(lèi)
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2、碳化硅襯底行業(yè)產(chǎn)能擴大,“價(jià)格戰”開(kāi)打?
近年來(lái),中國碳化硅襯底行業(yè)產(chǎn)能擴大。數據顯示,2023年全球折合6英寸導電型SiC襯底產(chǎn)能將達到2100Kpcs,同比增長(cháng)96%,預計2026年將增加至5690Kpcs,2023-2026年CAGR達39%;2023年,我國碳化硅襯底的折合6英寸銷(xiāo)量已超過(guò)100萬(wàn)片,許多廠(chǎng)商的產(chǎn)能爬坡速度超過(guò)預期,產(chǎn)能占全球產(chǎn)能的42%,預計2026年我國6英寸碳化硅襯底產(chǎn)能將占全球產(chǎn)能的50%左右。
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這也進(jìn)一步反映出市場(chǎng)對碳化硅襯底行業(yè)強烈需求。不過(guò),由于害怕晶圓廠(chǎng)商或者下游電動(dòng)汽車(chē)終端用戶(hù)的訂單無(wú)法充分消化產(chǎn)能,我國碳化硅襯底市場(chǎng)價(jià)格逐漸下降。
根據相關(guān)資料可知,之前國內6英寸碳化硅襯底通常比國際供應商的報價(jià)低5%左右,但是近期價(jià)格差異已經(jīng)擴大至30%。因此,有供應鏈從業(yè)者擔心,由于國內在碳化硅長(cháng)晶、襯底等領(lǐng)域的廠(chǎng)商眾多,如果有人率先掀起降價(jià)模式,恐怕將會(huì )迫使越來(lái)越多廠(chǎng)商跟進(jìn),進(jìn)而引發(fā)碳化硅襯底的價(jià)格戰。
碳化硅器件成本主要集中在襯底和外延,根據數據,兩者占成本比例合計70%。其中,襯底制造技術(shù)壁壘最高,成本占比高達47%,是最核心環(huán)節。
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當前,碳化硅從生產(chǎn)到應用的全流程歷時(shí)較長(cháng)。以碳化硅功率器件為例,從單晶生長(cháng)到形成襯底需要耗時(shí)1個(gè)月,從外延生長(cháng)到晶圓前后段加工完成需要耗時(shí)6-12個(gè)月,從器件制造再到上車(chē)驗證更是需要1-2年時(shí)間,對于碳化硅功率器件IDM廠(chǎng)商而言,從工業(yè)設計、應用等環(huán)節轉化為收入增長(cháng)的周期非常漫長(cháng),汽車(chē)行業(yè)一般需要4-5年之久。
對于碳化硅未來(lái),有業(yè)內人士表示,汽車(chē)是碳化硅最主要的應用市場(chǎng)之一,當主機廠(chǎng)降本壓力與日俱增,碳化硅器件廠(chǎng)商也難逃控本的命運。同時(shí),碳化硅器件上游的襯底與外延等產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節也將面臨技術(shù)革新和“價(jià)格戰”的挑戰。
此外,電動(dòng)汽車(chē)作為SiC功率器件核心應用下游,市場(chǎng)占比逐年提升。有相關(guān)資料可知,車(chē)用SiC功率器件占總市場(chǎng)比例將由2021年的63%增加至2027年的79%,其次為工業(yè)和新能源領(lǐng)域,占比分別為9%和7%。而隨著(zhù)全球電動(dòng)汽車(chē)市場(chǎng)需求的疲軟,碳化硅需求有所縮減,供應廠(chǎng)商們?yōu)閾寠Z訂單,不斷降低價(jià)格。由此可見(jiàn),產(chǎn)能持續擴大及下游需求疲軟雙重因素影響下,碳化硅襯底行業(yè)價(jià)格戰打響。
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3、碳化硅襯底產(chǎn)能有可能過(guò)剩,企業(yè)該如何破局
近年來(lái),國內外的Wolfspeed、英飛凌、意法半導體,還是羅姆、安森美等廠(chǎng)商以各種方式,拼命擴大產(chǎn)能,并積極尋求更多長(cháng)期合作伙伴,建立更為完全的產(chǎn)業(yè)鏈。根據相關(guān)資料可知,目前,全球已有27家企業(yè)實(shí)現8英寸SiC單晶生長(cháng)的研發(fā)突破,其中包括17家中國企業(yè)。據不完全統計,國際廠(chǎng)商去年一年貢獻6英寸碳化硅襯底產(chǎn)能超過(guò)200萬(wàn)片。
而隨著(zhù)襯底材料技術(shù)不斷突破,全球各大碳化硅相關(guān)廠(chǎng)商正瘋狂發(fā)力碳化硅。那么,未來(lái)碳化硅會(huì )不會(huì )過(guò)剩?實(shí)際上,當前,碳化硅襯底正進(jìn)入產(chǎn)能和價(jià)格拼殺階段,未來(lái)行業(yè)新一輪洗牌即將來(lái)臨,技術(shù)、良率、價(jià)格將成為競爭的關(guān)鍵。
目前,6英寸晶圓占據碳化硅市場(chǎng)主流,未來(lái)8英寸將迎來(lái)一場(chǎng)大戰,2024年碳化硅襯底市場(chǎng)只會(huì )更卷!那么,國產(chǎn)廠(chǎng)商如何破局?
事實(shí)上,目前國內有10家企業(yè)和機構在研發(fā)8英寸襯底,包含爍科晶體、晶盛機電、天岳先進(jìn)、南砂晶圓、同光股份、中科院物理所、山東大學(xué)、天科合達、科友半導體、乾晶半導體等。而Wolfspeed、ROHM、英飛凌、ST等國際碳化硅大廠(chǎng)已邁入8英寸。不過(guò),幸好的是意法和三安光電的合作主要集中在8英寸,英飛凌與兩家國產(chǎn)SiC企業(yè)簽訂長(cháng)約也表明未來(lái)將向8英寸進(jìn)發(fā),這有助于我國在碳化硅進(jìn)展上加速趕上國際步伐。
未來(lái),國產(chǎn)廠(chǎng)商要打破內卷怪圈可以從以下幾方面入手:
國產(chǎn)碳化硅襯底企業(yè)破局方式
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4、碳化硅襯底行業(yè)將邁入8英寸時(shí)代
國產(chǎn)碳化硅領(lǐng)域也正在取得階段性突破和進(jìn)展,如意法半導體與三安光電成立了一家合資制造廠(chǎng),進(jìn)行8英寸碳化硅器件大規模量產(chǎn)。為滿(mǎn)足該合資廠(chǎng)的襯底需求,三安光電也將利用自有襯底工藝,單獨建造和運營(yíng)一個(gè)新的8英寸碳化硅襯底制造廠(chǎng)。
重點(diǎn)SiC襯底廠(chǎng)商與器件制造原廠(chǎng)供應和合作情況
類(lèi)別 |
襯底廠(chǎng)商 |
時(shí)間 |
器件廠(chǎng)商 |
合作內容 |
合作金額 |
供應產(chǎn)品 |
海外 |
Wolfspeed |
2018年 |
Infineon |
Wolfspeed與Infineon簽訂6英寸SiC晶圓長(cháng)期供應協(xié)議 |
- |
SiC襯底及外延片 |
2019年 |
ST |
Wolfspeed與ST簽訂6英寸SiC晶圓長(cháng)期供應協(xié)議 |
2.5億美元 |
SiC襯底 |
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2019年 |
ST |
雙方擴大現有6英寸SiC晶圓供應協(xié)議 |
>5億美元 |
SiC襯底 |
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2022年 |
- |
協(xié)議批量供應6英寸SiC裸晶圓和外延晶圓 |
2.25億美元 |
SIC襯底及外延片 |
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2022年 |
TE |
雙方就電動(dòng)汽車(chē)能源管理達成合作 |
- |
SiCMOSFET |
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Coherent |
2022年 |
東莞天域 |
雙方簽訂6英寸SiC基片合作合同 |
1億美元 |
SiC襯底 |
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2022年 |
Infineon |
Coherent(原II-VI)與Infineon簽訂6英寸SiC襯底合作協(xié)議 |
- |
SiC襯底 |
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ROHM |
2020年 |
STROHM |
通過(guò)子公司SiCrystal簽訂SiC晶圓供應協(xié)議 |
1.2億美元 |
SiC襯底 |
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2022年 |
賽米控 |
ROHM第4代SiCMOS將被應用在賽米控車(chē)規級功率模塊 |
- |
SiCMOSFET |
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ONSemi |
2020年 |
Infineon |
ONSemi子公司GTAT與Infineon簽訂為期5年SiC晶棒供貨協(xié)議 |
- |
SiC襯底 |
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SKSiltron |
2023年 |
Qorvo |
雙方簽訂SiC芯片與外延片的長(cháng)期供應協(xié)議 |
- |
SiC襯底及外延片 |
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ST |
2019年 |
Norstel |
ST完成對SiC晶圓制造商Norstel的整體收購 |
1.4億美元 |
SiC襯底及外延片 |
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2022年 |
賽米控 |
ST與賽米控就電動(dòng)汽車(chē)eMPACK功率模塊簽訂4年合作協(xié)議 |
10億歐元 |
SiC襯底及器件 |
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Resonac |
2023年 |
Infineon |
Resonac與Infineon簽訂多年SiC材料供應與合作協(xié)議 |
- |
SiC襯底 |
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國內 |
天科合達 |
2023年 |
Infineon |
與Infineon簽訂6英寸SiC晶圓和晶錠供應協(xié)議 |
- |
SiC襯底 |
天岳先進(jìn) |
2023年 |
Infineon |
與Infineon簽訂6英寸SiC晶圓和晶錠供應協(xié)議 |
- |
SiC襯底 |
|
2023年 |
- |
2024-2026年將向F客戶(hù)銷(xiāo)售碳化硅產(chǎn)品 |
8億人民幣 |
SiC產(chǎn)品 |
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東尼電子 |
2023年 |
- |
2023-2025年將向T客戶(hù)交付共計93.5萬(wàn)片6英寸SiC襯底 |
數十億人民幣 |
SiC襯底 |
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三安光電 |
2023年 |
ST |
子公司湖南三安與ST在重慶設立合資公司并制造SiC外延、芯片獨家銷(xiāo)售給ST |
32億美元 |
SiC外延、芯片 |
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由此可見(jiàn),我國碳化硅襯底行業(yè)將邁向8英寸時(shí)代,也成為市場(chǎng)破局關(guān)鍵點(diǎn)。在量產(chǎn)上車(chē)方面,國內SiC器件廠(chǎng)商已經(jīng)開(kāi)始嶄露頭角,但國產(chǎn)碳化硅功率半導體真正有效產(chǎn)出、達到高質(zhì)量標準的產(chǎn)品還不多,中低端碳化硅功率半導體存在產(chǎn)能過(guò)剩風(fēng)險和內卷現象,所以企業(yè)在發(fā)展過(guò)程中要提升差異化優(yōu)勢,與市場(chǎng)需求相結合,避免產(chǎn)能盲目擴張。(WYD)

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